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华康洁净助力先导芯光晶圆厂通线，高端化合物半导体全链基地落成

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2026年09月30日 10:43

近日，华康洁净参与建设的先导芯光电子科技（武汉）有限公司（以下简称“先导芯光”）晶圆厂在东湖综保区正式通线。该晶圆厂是先导科技集团投资120亿元建设的高端化合物半导体材料及芯片产业化基地的制造核心，建有磷化铟4/6英寸与砷化镓6/8英寸双材料大尺寸光电芯片平台。通线后，基地由建设期转入工艺认证与产品导入阶段，200G光芯片代工导入先行，400G平台各项目同步进入流片与验证阶段，平台将以晶圆代工与联合研制两种方式向产业链开放，标志着我国高端化合物半导体产业链在晶圆制造环节迈出了关键一步。

 

项目宣传视频


项目概况：百亿芯光落子光谷，构筑化合物半导体全链基地
 

该项目由全球稀散金属行业领军企业、中国最大化合物半导体衬底供应商——先导科技集团有限公司投资，于2024年3月落户武汉光谷，总投资120亿元，建筑面积26万平方米，规划年产砷化镓芯片5万片、磷化铟芯片1万片及光电器件30万只，是国内少数具备衬底、外延、芯片、器件全链条生产能力的“超级工厂”。

 

项目效果图

 

项目航拍实景图
 

华康洁净承建项目生产厂房、动力站房、环保处理设施、化学品及特种气体存储区等全  部核心功能区域，覆盖建筑装饰装修、结构、给排水、暖通、动力、电气、自控、消防、通信、安防等系统，以及纯水、废水、大宗气、制程排气等关键工艺配套专业。


项目亮点：以洁净技术赋能高端制造，树立高端半导体厂房标杆


亮点一：全梯度洁净车间与高纯工艺系统


项目净化车间总面积超20000㎡，覆盖十级、百级、千级、万级及十万级全梯度洁净等级。

 

十级洁净厂房

 


百级洁净厂房

 


百级洁净走廊

 

暖通系统：针对不同区域洁净度需求，华康洁净采用“MAU+ FFU+ DCC”空调形式，通铺1.2m高铝合金高架地板，构建“上送下回”的气流组织，精准保障温湿度控制与压差梯度稳定，充分满足化合物半导体光刻、刻蚀等核心工艺对微环境的严苛要求。

 

1.2m高铝合金高架地板


超纯水系统：本项目纯水要求达到12英寸芯片级水准——颗粒物控制（Partiles@ ≥0.05μm ≤300#/liter）、水压控制（3.5bar g可调，精度±0.5bar g）、硼离子控制（Boron as B ＜1PPb）。项目采用2B3T树脂工艺（阴阳床+脱气脱碳塔）工艺流程，在保证出水极致纯净的同时，显著降低后续维护成本，为芯片良率提供可靠保障。


亮点二：高定装饰与智能观察窗，兼顾功能与展示


项目一层层高达7.9m，洁净壁板采用手工板全高墙，确保整体气密性与平整度。


在参观走道区域，华康设置了一整排2m×2.2m的电控观察窗，具备雾化/透明双模式切换功能：平时为雾化玻璃，有效保障车间内部隐私；参观时一键切换为透明窗户，可直观展现洁净室内生产场景。在满足洁净要求的同时，极大提升了项目的科技感与展示性。

 

电控观察窗


亮点三：BIM技术深度应用，破解夹层空间瓶颈


本项目上夹层空间极为有限，且大部分管道集中在走道区域。华康洁净BIM团队提前介入、全专业协同建模，实现精细化分层规划：空调管、消防风管水管、酸碱有机排气、桥架、母线等布置于静压箱层；UPW超纯水、PCW工艺冷却水、CDA压缩空气、GAS特种气体、纯废水、大宗气等管道设置于高架地板之下，便于二次配施工，极大减少管道翻弯与碰撞。不仅有效降低了现场施工难度，更实现了管线排布的整洁美观与后期维护的便捷高效，成为工业洁净厂房数字化建造的优秀范例。

 

项目BIM模型图


先导芯光晶圆厂通线，是先导科技集团从材料到芯片战略在武汉落地的关键一步，也是华康洁净以洁净技术赋能高端制造的又一标杆实践。通线后，基地将面向光通信与射频通信，持续开放晶圆代工与联合研制，助力我国高端化合物半导体产业链自主可控。未来，华康洁净将继续秉持“以洁净技术赋能全域产业升级”的使命，为中国集成电路产业的自主可控与全球竞争力提升贡献坚实力量。

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